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激光功率：
加工幅面：
外觀尺寸：
切割材質及厚度：
劃線寬度：
最大劃線深度：
重復定位精度：
檢測能力：兼容4inch、5inch、6inch晶圓
外觀尺寸：2000mm*800mm*1600mm
設備功能：具備AOI、OCR等功能
缺陷種類：顆粒（particle ）、刮傷（scratch ）、小坑（pit）、凸起（bump ）和臟污等
軟件算法：深度神經網絡算法，顏色對比，輪廓識別，偏移檢測，模板匹配等
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晶圓外觀檢測-VDW系列特性參數
| 檢測能力： | 兼容4inch、5inch、6inch晶圓; |
| 外觀尺寸： | 2000mm*800mm*1600mm |
| 設備功能： | 具備AOI、OCR等功能； |
| 缺陷種類： | 顆粒（particle ）、刮傷（scratch ）、小坑（pit）、凸起（bump ）和臟污等； |
| 軟件算法： | 深度神經網絡算法，顏色對比，輪廓識別，偏移檢測，模板匹配，字符對比等； |
| UPH(每小時產能): | 40PCS-100PCS; |
*所有技術參數以最新技術方案為準。
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